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    寶深集團磚機真空泵的選擇及使用

           1 、真空泵的工作壓強應該滿足真空磚機設備的極限真空及工作壓強要求。如:真空鍍膜要1×10—5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要 5×10—6mn1Hg 。通常選擇泵的真空度要高于真空磚機設備真空度半個到一個數量級。

     

           2 、正確地選擇真空磚機真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10一3~10一7mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5x10一4一5×10一6mmHg 。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10一8mmHg下長期工作。

     

           3 、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空磚機設備工藝過程中產生的全部氣體量。

     

           4 、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

     

           5 、真空磚機設備對油污染的要求。若磚機設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

     

           6 、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

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